回顧【雙麵蝕刻機】的發展史
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雙麵蝕刻機更早僅(jin) 是一個(ge) 蝕刻液槽或缸,存放了蝕刻液,覆銅板掛浸在裏麵溶液中未保護的銅; 後又使蝕刻液攪動或板子擺動,稍微提高蝕刻速度。此後,在蝕刻液槽中間有一根噴管,板子豎直放於(yu) 槽體(ti) 周圍,噴管旋轉的離心力把溶液飛濺於(yu) 板麵上實現蝕刻銅。由於(yu) 板子固定放置於(yu) 槽內(nei) ,人工放板與(yu) 取板效率低,且勞動強度大。這種條件下加工的板子線條寬度/間距在0.5mm以上。
後來采用水平傳(chuan) 送板子,泵輸送溶液至噴管噴淋溶液,初期還沒有用到噴嘴,僅(jin) 采用塑料管上開小孔或縫隙噴淋出的溶液,壓力較小。以後進一步發展成采用噴嘴與(yu) 擺動結構。
水平傳(chuan) 送承載板子的載體(ti) 曾是采用塑料編織網帶,由蝕刻機兩(liang) 頭輥輪轉動帶動塑料網的移動,板子放在網上後不動的。這種網帶傳(chuan) 送的好處,適合各種尺寸(長、寬與(yu) 板厚)板子及撓性板的蝕刻,其缺點是隻能單麵蝕刻,雙麵板要經翻板二次蝕刻。為(wei) 能雙麵同時蝕刻,改為(wei) 滾輪傳(chuan) 送,這樣板子隨著滾輪前進,上下都有空隙可噴淋溶液於(yu) 板麵。裝載滾輪的輥軸轉動,有靠鏈條帶動或齒輪帶動,相對而言齒輪傳(chuan) 動平穩可靠。因為(wei) 傳(chuan) 送滾輪之間有間隙,會(hui) 使小尺寸板及柔軟的板不能傳(chuan) 送,這就要考慮滾輪的密度,或附加“過橋”,使得小尺寸板與(yu) 撓性板也能傳(chuan) 送,已有設備稱能傳(chuan) 送更薄25μm的薄片。
曾有垂直式傳(chuan) 送蝕刻機,板子垂直掛吊於(yu) 夾具上進入蝕刻機內(nei) ,在蝕刻室兩(liang) 側(ce) 溶液噴淋板麵。由於(yu) 蝕刻設備複雜和沒有體(ti) 現優(you) 良的蝕刻效果,因此沒被發展。現在主流是水平傳(chuan) 送噴淋式蝕刻機。
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